半導(dǎo)體制程相關(guān)設(shè)備
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晶圓旋轉(zhuǎn)主軸工位的坐標簡易管理應(yīng)用 |
提高效率、省空間、驅(qū)動大負載
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晶圓旋轉(zhuǎn)主軸工位：穩(wěn)定緩慢的驅(qū)動晶圓旋轉(zhuǎn)
設(shè)備：半導(dǎo)體制程相關(guān)設(shè)備工位：晶圓旋轉(zhuǎn)主軸工位 解決方案：AZ系列步進伺服混合控制系統(tǒng)步進電動機 ●絕對系統(tǒng)·簡易循環(huán)坐標 ●一體化·省空間 ●大慣性負載驅(qū)動 ●驅(qū)動小型化 |
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步進伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列 |
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循環(huán)坐標功能設(shè)定，坐標管理更簡易
■機械式絕對編碼器·實現(xiàn)絕對坐標位置管理絕對式系統(tǒng)位置管理，無需電池、傳感器等配件。支持高速原點返回、重新上電后的絕對坐標記憶、軟極限設(shè)置、內(nèi)藏定位程序運行等。 有助于提升生產(chǎn)效率、節(jié)省安裝空間、降低成本。
循環(huán)功能是在電動機輸出軸的轉(zhuǎn)數(shù)超出設(shè)定的范圍時，自動預(yù)置當(dāng)前位置的位置信息的功能。
應(yīng)用例：
連續(xù)旋轉(zhuǎn)的鍍膜旋轉(zhuǎn)盤工位，電動機輸出軸每旋轉(zhuǎn)1rev，循環(huán)坐標時，坐標將自動清零。
連續(xù)旋轉(zhuǎn)的鍍膜旋轉(zhuǎn)盤工位，電動機輸出軸每旋轉(zhuǎn)1rev，循環(huán)坐標時，坐標將自動清零。
有助于：
①便捷的確認機構(gòu)/晶圓當(dāng)前位置狀態(tài)； ②避免坐標溢出時的坐標數(shù)據(jù)處理難題； ③高效的高速原點返回。 |
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配備減速機一體化，實現(xiàn)小型化
■集減速機+步進電動機+編碼器一體化的高精密步進電動機，實現(xiàn)動力機構(gòu)設(shè)計更小型化伺服電動機的減速機靠聯(lián)軸器連結(jié)，步進電動機減速機型實現(xiàn)一體化、省空間，緊湊簡潔的設(shè)計且無需調(diào)整，可輕易掌握「齒隙」及「精度」。
◇ 驅(qū)動大慣性負載
相同安裝尺寸，步進電動機的轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動慣量值普遍大于伺服電動機，可驅(qū)動更大的慣性負載。
小體積步進電動機驅(qū)動器，提升電控空間利用率
■步進電動機驅(qū)動器體積更小型化
備有可對應(yīng)EtherCAT、EtherNet/IP、PROFINET的步進電動機驅(qū)動器。
體積相比伺服電動機驅(qū)動器大為縮小。
面向軸數(shù)多、控制柜空間要求嚴苛的場合，步進電動機驅(qū)動器有效節(jié)省設(shè)計空間，提高設(shè)計自由度。
備有可對應(yīng)EtherCAT、EtherNet/IP、PROFINET的步進電動機驅(qū)動器。
體積相比伺服電動機驅(qū)動器大為縮小。
面向軸數(shù)多、控制柜空間要求嚴苛的場合，步進電動機驅(qū)動器有效節(jié)省設(shè)計空間，提高設(shè)計自由度。
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