晶圓Pin針頂升工位·小型電動(dòng)缸應(yīng)用提案
裝置概要
半導(dǎo)體的工藝發(fā)展對(duì)設(shè)備的要求逐步提升，對(duì)每個(gè)軸的動(dòng)作也愈發(fā)嚴(yán)格。小型化、高效率、高精度、低振動(dòng)……眾多需求在機(jī)構(gòu)上的設(shè)計(jì)應(yīng)用，以下將為您介紹各類提案：
 *圖片僅供示意
|
實(shí)現(xiàn)動(dòng)作
將吸附于平臺(tái)上的晶圓片通過Pin針頂起，以便于利用搬運(yùn)機(jī)械手進(jìn)行取、送晶圓片。 ※晶圓頂起前，會(huì)通過“靜電吸附”、“真空吸附”等方式附著在平臺(tái)上。 機(jī)構(gòu)痛點(diǎn)·難題
• 吸附型平臺(tái)采用氣缸頂升PIN針，晶圓可能出現(xiàn)“裂片”。• 需頂升大尺寸晶圓，實(shí)現(xiàn)大負(fù)載驅(qū)動(dòng)。 • 實(shí)現(xiàn)小型化。 • 提升效率，提高空間利用率。 |
課題：晶圓裂片/晃動(dòng)、位置偏離
例如：吸附型平臺(tái)會(huì)出現(xiàn)未完全解除吸附力的情況，導(dǎo)致頂升時(shí)晶圓片短時(shí)間內(nèi)仍吸附于平臺(tái)上。
痛點(diǎn)分析：
采用氣動(dòng)為動(dòng)力源的頂升機(jī)構(gòu)，氣動(dòng)頂升動(dòng)作無加速過程，易導(dǎo)致：
●突然頂起時(shí)的瞬間推力過大，有導(dǎo)致晶圓裂片的可能。
●高速升降、起停時(shí)不平穩(wěn)，導(dǎo)致晶圓晃動(dòng)、位置偏離。
解決方案： 改變驅(qū)動(dòng)方式：氣缸驅(qū)動(dòng)→電動(dòng)缸驅(qū)動(dòng)
小型電動(dòng)缸動(dòng)力源采用步進(jìn)電動(dòng)機(jī)，可輕易實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)加/減速設(shè)定。
即使有吸附力殘留，因初期有緩慢加速過程，不會(huì)對(duì)晶圓造成瞬間沖擊。頂升后，平滑的減速、停止過程，實(shí)現(xiàn)晶圓平穩(wěn)頂升，同時(shí)保證停止精度。
適合穩(wěn)定進(jìn)給的驅(qū)動(dòng)軸。
*不改變脈沖輸入設(shè)定，以整步時(shí)的移動(dòng)量、速度自動(dòng)進(jìn)行微步驅(qū)動(dòng)的控制。
注意：
本資料僅供參考。選購前請(qǐng)仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請(qǐng)洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
例如：吸附型平臺(tái)會(huì)出現(xiàn)未完全解除吸附力的情況，導(dǎo)致頂升時(shí)晶圓片短時(shí)間內(nèi)仍吸附于平臺(tái)上。
痛點(diǎn)分析：
采用氣動(dòng)為動(dòng)力源的頂升機(jī)構(gòu)，氣動(dòng)頂升動(dòng)作無加速過程，易導(dǎo)致：
●突然頂起時(shí)的瞬間推力過大，有導(dǎo)致晶圓裂片的可能。
●高速升降、起停時(shí)不平穩(wěn)，導(dǎo)致晶圓晃動(dòng)、位置偏離。
解決方案： 改變驅(qū)動(dòng)方式：氣缸驅(qū)動(dòng)→電動(dòng)缸驅(qū)動(dòng)
小型電動(dòng)缸動(dòng)力源采用步進(jìn)電動(dòng)機(jī)，可輕易實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)加/減速設(shè)定。
即使有吸附力殘留，因初期有緩慢加速過程，不會(huì)對(duì)晶圓造成瞬間沖擊。頂升后，平滑的減速、停止過程，實(shí)現(xiàn)晶圓平穩(wěn)頂升，同時(shí)保證停止精度。
適用于微小移動(dòng)量·高精度定位
| 中空轉(zhuǎn)子和滾珠螺桿螺母一體化的緊小型機(jī)體， 可實(shí)現(xiàn)裝置的小型化。 無需連接部件，減少因聯(lián)軸器等部件而產(chǎn)生的精度影響， 實(shí)現(xiàn)更高精度的定位。 ●驅(qū)動(dòng)螺桿分為研磨滾珠螺桿和滾軋滾珠螺桿2種 【最小移動(dòng)量】0.001mm 【反復(fù)定位精度】 研磨滾珠螺桿：±0.003mm 滾軋滾珠螺桿：±0.01mm
|
 |
支持穩(wěn)定、平滑的加/減速設(shè)定
小型電動(dòng)缸驅(qū)動(dòng)支持加/減速過程的設(shè)定，同時(shí)可利用驅(qū)動(dòng)器波形監(jiān)控功能監(jiān)控電動(dòng)機(jī)的運(yùn)行狀態(tài)及輸出信號(hào)的狀態(tài)，
助力于裝置的研發(fā)和便捷調(diào)試等用途。
低速且平滑的動(dòng)作
采用微步驅(qū)動(dòng)、平滑驅(qū)動(dòng)功能*，可抑制低速振動(dòng)，實(shí)現(xiàn)平滑移動(dòng)。適合穩(wěn)定進(jìn)給的驅(qū)動(dòng)軸。
*不改變脈沖輸入設(shè)定，以整步時(shí)的移動(dòng)量、速度自動(dòng)進(jìn)行微步驅(qū)動(dòng)的控制。
搭載產(chǎn)品
?點(diǎn)此下載小型電動(dòng)缸 DR/DRS2系列（搭載AZ系列）產(chǎn)品目錄
|
?小型電動(dòng)缸DR系列（搭載αSTEP AZ系列） 因此無需原點(diǎn)傳感器、限位傳感器等外部傳感器。
|
|
?小型電動(dòng)缸DRS2系列（搭載αSTEP AZ系列）
|
注意：
本資料僅供參考。選購前請(qǐng)仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請(qǐng)洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
