晶圓單片清洗設(shè)備應(yīng)用提案
裝置概要
晶圓單片清洗設(shè)備由于工藝效果好、均勻性高，不易產(chǎn)生交叉污染，逐漸成為了半導(dǎo)體制造中的主流濕法清洗設(shè)備。該設(shè)備在晶圓上、下料、CUP升降裝置、噴淋/清洗裝置等機構(gòu)應(yīng)用上，東方馬達均提供強有力的解決方案。通過搭載步進伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列及其模組化產(chǎn)品，達成小型化、高精度、節(jié)省設(shè)計、裝配的人力和時間成本等多項課題。 以下為您介紹各工位應(yīng)用提案：
控制方式
一臺多軸驅(qū)動器
αSTEPAZ系列多軸驅(qū)動器，可連接2-4軸?？蓪Ⅱ?qū)動器集合成1臺，
可節(jié)省連接上位的連接電纜線及電源電纜線，從而節(jié)省配線。
配置自由度高的小型驅(qū)動器
在自制機器人時，也需要重視驅(qū)動器尺寸。小型化的驅(qū)動器可以不受電控柜位置的空間限制，在有限的空間中自由設(shè)置。例如可在電動機的旁邊設(shè)置驅(qū)動器，縮短電動機電纜線、節(jié)省配線，提高生產(chǎn)現(xiàn)場的整潔度，同時還節(jié)省了電控柜的空間，推進設(shè)備整體小型化，提高設(shè)備空間利用率。
?點此查看AZ系列mini驅(qū)動器詳情
協(xié)助您從產(chǎn)品選定到裝置設(shè)計
您可以通過我司的在線電動機選型軟件進行自主選型計算。
除此之外，也可通過委托東方馬達工作人員進行選型計算，并介紹與之相配的配件。
注意：
*本資料僅供參考。選購前請仔細確認設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
*如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
*啟動機器人前客戶應(yīng)負責事先對機器人實施充分的安全確認。對于機器人系統(tǒng)整體的安全性，本公司不承擔任何責任。
*需要客戶按照實際使用條件進行編程，本公司無法提供編程服務(wù)。
高性價比的控制器，免費的軟件
機器人控制器MRC01搭載了機器人動作必要的基本功能，且性價比高。此外，備有專用的編程軟件MRC Studio可免費下載。即使沒有編程等專業(yè)知識也可直觀地輸入程序。?點此查看機器人控制器MRC01詳細介紹
?點此下載編程軟件 MRC Studio
?點此下載編程軟件 MRC Studio體驗版
您可以通過我司的在線電動機選型軟件進行自主選型計算。
除此之外，也可通過委托東方馬達工作人員進行選型計算，并介紹與之相配的配件。
以統(tǒng)一的控制完成各種運動
步進伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列、除各種型號齊全的標準型外還備有帶電磁制動、減速機型等產(chǎn)品。此外，還備有電動機與電動傳動裝置組合的機構(gòu)產(chǎn)品。共通的電動機、電纜線，使得配線、控制、維護部件均統(tǒng)一，可縮短裝置完成所需的時間
點擊以下鏈接查看相關(guān)產(chǎn)品詳細：
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| 電動滑臺 ?EZS系列 ?EAS系列 |
?電動缸 EAC系列 |
小型電動缸 ?DR系列 ?DRS2系列 |
?中空旋轉(zhuǎn)式 傳動裝置 DGII系列 |
齒輪·齒條系統(tǒng) ?L系列 ?LJ直線減速機 |
?電動夾爪 EH系列 |
統(tǒng)一的優(yōu)點：
• 配線統(tǒng)一
I/O的端子分配相同，可節(jié)省電氣設(shè)計、配線的設(shè)計及人工成本。
• 控制統(tǒng)一
控制方法相同，可使用相同的使用方法實施控制。此外，網(wǎng)絡(luò)控制時，遠程I/O及指令代碼相同?？珊喕幊坛绦?。
• 保養(yǎng)部件統(tǒng)一
電動機、驅(qū)動器、電纜線等通用，可將保養(yǎng)部件控制到最低?？晒?jié)省管理成本（部件費用、管理空間）。
?點此觀看無需電池的絕對定位介紹視頻
• 配線統(tǒng)一
I/O的端子分配相同，可節(jié)省電氣設(shè)計、配線的設(shè)計及人工成本。
• 控制統(tǒng)一
控制方法相同，可使用相同的使用方法實施控制。此外，網(wǎng)絡(luò)控制時，遠程I/O及指令代碼相同?？珊喕幊坛绦?。
• 保養(yǎng)部件統(tǒng)一
電動機、驅(qū)動器、電纜線等通用，可將保養(yǎng)部件控制到最低?？晒?jié)省管理成本（部件費用、管理空間）。
無需外部傳感器，減少了相關(guān)問題發(fā)生
AZ系列搭載機械式絕對編碼器（ABZO編碼器）實時管理位置信息，可省去原點返回所需的外部傳感器。此裝置為5軸驅(qū)動，因此5軸均無需外部傳感器。 不僅節(jié)省了部件成本及減少了配線時間，而且因減少了斷線、誤檢等傳感器相關(guān)問題的發(fā)生，從而有助于整體的成本降低。
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縮短多軸的原點返回時間
AZ系列搭載無需電池的機械式絕對編碼器（ABZO編碼器）。定位運行中，即使電源非正常停止或發(fā)生停電，也能保持位置信息。而且，即使需要回原點也無需使用外部傳感器，因此可實現(xiàn)高速回原點。?點此觀看無需電池的絕對定位介紹視頻
搭載產(chǎn)品
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對應(yīng)EtherCAT、MECHATROLINK-Ⅲ、SSCNETⅢ/H 的多軸驅(qū)動器、 可連接本公司AZ系列DC電源輸入電動機
及搭載該電動機的電動傳動裝置。
比盒型驅(qū)動器更小。通過mini驅(qū)動器，實現(xiàn)裝置的小型化、 節(jié)能化。
可對應(yīng)電池驅(qū)動，可用于比以往更多的用途。
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注意：
本資料僅供參考。選購前請仔細確認設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
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