晶圓單片清洗設(shè)備應(yīng)用提案
裝置概要
晶圓單片清洗設(shè)備由于工藝效果好、均勻性高，不易產(chǎn)生交叉污染，逐漸成為了半導(dǎo)體制造中的主流濕法清洗設(shè)備。該設(shè)備在晶圓上、下料、CUP升降裝置、噴淋/清洗裝置等機(jī)構(gòu)應(yīng)用上，東方馬達(dá)均提供強(qiáng)有力的解決方案。通過(guò)搭載步進(jìn)伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列及其模組化產(chǎn)品，達(dá)成小型化、高精度、節(jié)省設(shè)計(jì)、裝配的人力和時(shí)間成本等多項(xiàng)課題。 以下為您介紹各工位應(yīng)用提案：
晶圓上、下料工位——SCARA機(jī)器人應(yīng)用
自制SCARA機(jī)器人常用于取放工作物、實(shí)現(xiàn)設(shè)備之間的搬送自動(dòng)化，用以替代以往需要人工進(jìn)行的連結(jié)、測(cè)量、組裝等手工作業(yè)產(chǎn)線，在有限的空間中實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)易、高效的取放及設(shè)備間的自動(dòng)化搬送。
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小型化電動(dòng)機(jī)、模組產(chǎn)品的組合應(yīng)用，實(shí)現(xiàn)機(jī)器人小型化
Axis1 采用全長(zhǎng)較短的EZS系列折返型電動(dòng)滑臺(tái)，有利于節(jié)省裝置的空間，實(shí)現(xiàn)了裝置的小型化設(shè)計(jì)，可滿足產(chǎn)線的裝置寬度限制。 （另可詳見(jiàn)CUP裝置升降工位的介紹。） Axis2 SCARA機(jī)器人在抓取距軸端較遠(yuǎn)的機(jī)械臂前端工作物時(shí)，高剛性的DGⅡ系列中空旋轉(zhuǎn)平臺(tái)可提供高容許轉(zhuǎn)矩和容許慣性力矩，因此有助于擴(kuò)大機(jī)械臂的可動(dòng)范圍。（另可詳見(jiàn)擺臂工位--旋轉(zhuǎn)軸的介紹。）
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可根據(jù)安裝空間選擇電動(dòng)機(jī)垂直組裝型或水平組裝型，電動(dòng)機(jī)水平組裝型無(wú)需加工電動(dòng)機(jī)的安裝用預(yù)留槽，簡(jiǎn)化安裝板。
Axis3、4
中空旋轉(zhuǎn)式傳動(dòng)裝置DGII系列全新電動(dòng)機(jī)水平方向（薄型）有助于省空間。 實(shí)現(xiàn)水平多關(guān)節(jié)機(jī)器人整體的薄型化。
薄型機(jī)器人
DGⅡ系列薄型在機(jī)器人關(guān)節(jié)的旋轉(zhuǎn)應(yīng)用，壓縮了機(jī)器人整體的高度，使得機(jī)器人更加小型、薄型。
輕松導(dǎo)入自制機(jī)器人
機(jī)器人控制器通過(guò)“初始設(shè)定”、“動(dòng)作編程”、“動(dòng)作確認(rèn)”3 步，可輕松導(dǎo)入、控制自制機(jī)器人?？煽刂剖褂昧嘶旌峡刂葡到y(tǒng)αSTEP AZ系列/搭載AZ系列電動(dòng)傳動(dòng)裝置的自制機(jī)器人。
MRC01可以通過(guò)編程軟件MRC Studio設(shè)定的動(dòng)作程序，僅用電腦輕松進(jìn)行示教、動(dòng)作確認(rèn)。
免費(fèi)的編程軟件，快速上手掌握控制
備有機(jī)器人控制器MRC01。使用其專用的編程軟件MRC Studio，即使無(wú)編程經(jīng)驗(yàn)，也可馬上進(jìn)行編程·控制。通過(guò)使用MRC01，降低了編程·控制的難度，有助于自制機(jī)器人的順利研發(fā)。
約30分鐘即可掌握
即使無(wú)機(jī)器人控制經(jīng)驗(yàn)，也可約10分鐘進(jìn)行初始設(shè)定，約20分鐘掌握編程，總共花大約30分鐘掌握MRC Studio的使用方法。
機(jī)器人編程、控制簡(jiǎn)單
為了讓無(wú)機(jī)器人控制經(jīng)驗(yàn)的客戶也能編程，使用了直觀表現(xiàn)動(dòng)作的動(dòng)作指令按鈕圖標(biāo)。即使沒(méi)有上位控制器，通過(guò)直接I/O亦可驅(qū)動(dòng)程序。
指令使用了直觀體現(xiàn)動(dòng)作的圖標(biāo)
圓弧的動(dòng)作，僅需選擇指令后在坐標(biāo)中輸入
機(jī)器人類型多樣化選擇
以向?qū)问竭M(jìn)行機(jī)器人類型的選擇和機(jī)構(gòu)信息的輸入等一系列初始設(shè)定，通過(guò)邊看圖解邊按照指導(dǎo)說(shuō)明進(jìn)行設(shè)定、選擇。目前可支持32種機(jī)器人類型的選用。
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輕松選用機(jī)器人類型
大幅降低前期機(jī)器人模型搭建的算法構(gòu)建難題，簡(jiǎn)便選用合適的模型，提高自制機(jī)器人研發(fā)效率。
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搭載產(chǎn)品
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