晶圓單片清洗設(shè)備應(yīng)用提案
裝置概要
晶圓單片清洗設(shè)備由于工藝效果好、均勻性高，不易產(chǎn)生交叉污染，逐漸成為了半導(dǎo)體制造中的主流濕法清洗設(shè)備。該設(shè)備在晶圓上、下料、CUP升降裝置、噴淋/清洗裝置等機構(gòu)應(yīng)用上，東方馬達(dá)均提供強有力的解決方案。通過搭載步進(jìn)伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列及其模組化產(chǎn)品，達(dá)成小型化、高精度、節(jié)省設(shè)計、裝配的人力和時間成本等多項課題。 以下為您介紹各工位應(yīng)用提案：
CUP裝置升降工位
絲杠帶適配器是由滑動絲杠和樹脂螺母組成的直線動作機構(gòu)，可輕松搭載本司步進(jìn)電動機實現(xiàn)高推力、高速、自鎖力等特性，有助于改善裝置的生產(chǎn)節(jié)拍。與自行組裝的結(jié)構(gòu)相比，減少設(shè)計工時、節(jié)省空間，實現(xiàn)機構(gòu)的小型化。
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開環(huán)控制的步進(jìn)電動機·無需增益調(diào)整的多軸同步運行
電動機本體是被設(shè)計僅用控制器、驅(qū)動器和電動機構(gòu)成開環(huán)控制方式就可以簡單地進(jìn)行“高精度定位運行”的同步電動機，具有高響應(yīng)性和高指令跟隨性的特點。
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故對機構(gòu)剛性無要求，無需增益調(diào)整，可實現(xiàn)與輸入的動作指令同步運行。
只需運動指令同步輸入，多臺步進(jìn)電動機可進(jìn)行幾乎相同的運行，同步升降CUP裝置。
查看同步性演示視頻：
自鎖結(jié)構(gòu)·節(jié)省額外的制動器設(shè)計
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自鎖力*最大100N（安裝尺寸42mm 導(dǎo)程2mm），可用于保持負(fù)載。 可用于防止因自重而掉落、移動等負(fù)載保持用途。 *從外部移動螺母時，由于摩擦的關(guān)系，絲杠軸無法動作的現(xiàn)象稱為自鎖。
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* 搭載AZ系列步進(jìn)伺服混合控制系統(tǒng)步進(jìn)電動機的組合使用方式，詳情請另洽詢。
搭載機械式絕對編碼器的AZ系列·實現(xiàn)絕對坐標(biāo)位置管理
絕對式系統(tǒng)位置管理，支持重新上電后的絕對坐標(biāo)記憶，無需電池、傳感器等配件，支持軟極限設(shè)置、內(nèi)藏定位程序運行等。
有助于提升生產(chǎn)效率、節(jié)省安裝空間、降低成本。 |
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查看絕對式應(yīng)用演示視頻：
■原點輕松設(shè)置、高速原點返回十分高效簡便
| 應(yīng)用情景： 高精密微調(diào)：確認(rèn)裝置當(dāng)前位置狀態(tài)，支持高精度位置微調(diào)； 輕松復(fù)位：斷電后各軸若因外力不同引起不同的變位量，支持多軸簡易的同步絕對定位復(fù)位。 |
■采用小型電動缸·空間利用更出色
αSTEP與滾珠絲杠一體化的緊小型機體，可實現(xiàn)裝置設(shè)計小型化、省空間化。
DRS2系列
可減少部件數(shù)量，節(jié)省空間，縮短組裝及安裝精度等的調(diào)節(jié)時間?？稍诟虝r間內(nèi)研發(fā)裝置。
搭載產(chǎn)品
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?絲杠帶適配器 |
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?DRS2系列（搭載αSTEP AZ系列） |
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?步進(jìn)伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列 |
注意：
本資料僅供參考。選購前請仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
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