晶圓輸送
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如何提升批量晶圓輸送效率和質(zhì)量？ |
當(dāng)前問題
在整個半導(dǎo)體晶圓制成過程中包含諸多工序，前道包括有光刻顯影、蝕刻等晶圓處理工序，后道則有劃片、測試、封測等工序。同時，也有貫穿整個流程的工序，例如晶圓清洗、搬送等輔助工序。
在如今快速發(fā)展的半導(dǎo)體行業(yè)中，提升每一道自動化工序的效率和質(zhì)量都成了至關(guān)重要的課題。
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以αSTEP AZ系列為例 | 
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在晶圓存儲搬送此類設(shè)備中，經(jīng)常采用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)將晶圓搬運(yùn)至各類制成設(shè)備中。
批量搬送晶圓對于電機(jī)來說，有著以下要求：
問題1：大慣量小體積
由于是批量移載晶圓，可將整個晶圓盒視為一個較大的慣性體，因此對于負(fù)載轉(zhuǎn)矩要求不高，對于電動機(jī)負(fù)載慣性慣量的要求卻較大。
αSTEP AZ系列諧波減速機(jī)型 的轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動慣量較大，可滿足這一需求。
（單位：10-7kg?m2）
另一方面，此類設(shè)備安裝空間相對緊湊，因此對于電機(jī)的體積也有一定要求。而 AZ系列諧波電動機(jī)型 出廠時減速機(jī)已經(jīng)安裝完畢，整體機(jī)身長度較短，可滿足小空間安裝要求。
 （圖示為AC電源輸入型的機(jī)身長度）
問題2：高精度
輸送晶圓對于取放的精度有著較高的要求，取放不當(dāng)則可能導(dǎo)致晶圓損毀，對工廠造成嚴(yán)重?fù)p失。
而諧波電動機(jī)搭載的減速機(jī)沒有齒隙，精度較高，可以做到高精度搬運(yùn)。  ●諧波減速機(jī)型R是株式會社Harmonic Driver Systems公司的注冊商標(biāo)或商標(biāo)。 問題3：多軸驅(qū)動，高同步性
晶圓搬送工位多采用多臺電機(jī)同時控制動作，因此電機(jī)的同步性就顯得尤為重要。  AZ系列多軸驅(qū)動器可對應(yīng)EtherCAT、MECHATROLINK-Ⅲ、SSCNETⅢ/H多種通信方式，可實(shí)現(xiàn)多軸間的同步運(yùn)行。
另外由于步進(jìn)電機(jī)無需整定時間，與伺服電機(jī)相較，有助于提高工作效率。
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