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自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備


自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的扁平化設(shè)計(jì)應(yīng)用

省空間、提高效率




自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備:壓縮設(shè)備高度,提升空間利用率
設(shè)備:自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備(AOI)

工位:晶圓旋轉(zhuǎn)工位

解決方案:薄型·中空旋轉(zhuǎn)式傳動(dòng)裝置DG2系列
●薄型·扁平化、節(jié)省高度
●絕對(duì)式系統(tǒng)
●簡(jiǎn)易循環(huán)坐標(biāo)

痛點(diǎn):提升設(shè)備空間利用率,設(shè)計(jì)多層、多腔室集群設(shè)備是半導(dǎo)體設(shè)備的開(kāi)發(fā)趨勢(shì)。故此,壓縮每個(gè)腔體中的結(jié)構(gòu)高度成為重中之重的新課題。

新品上市! 薄型·中空旋轉(zhuǎn)式傳動(dòng)裝置

NEW!電動(dòng)機(jī)水平方向(薄型)

● 薄型,扁平化
● 大口徑中空設(shè)計(jì)
● 搭載機(jī)械式絕對(duì)編碼器
● 無(wú)齒隙高精度定位


薄型·中空旋轉(zhuǎn)式傳動(dòng)裝置DGⅡ系列


薄型·中空的旋轉(zhuǎn)平臺(tái),創(chuàng)設(shè)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)新高度
全新薄型設(shè)計(jì)·有效壓縮高度設(shè)計(jì)

備有多種組裝類(lèi)型的中空旋轉(zhuǎn)式工作臺(tái),
全新推出在高度上可大幅壓縮設(shè)備縱向空間的薄型中空旋轉(zhuǎn)平臺(tái),
實(shí)現(xiàn)設(shè)備扁平化。






大口徑中空設(shè)計(jì)·巧妙利用省空間
直接將負(fù)載安裝在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上,不僅省去傳動(dòng)機(jī)構(gòu),方便安裝,更能通過(guò)中空設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)由下而上的配線?配管。
大口徑中空孔(貫穿)用于布置復(fù)雜的配線、氣動(dòng)(吸盤(pán))及液壓配管等場(chǎng)合,節(jié)省配件設(shè)置空間。




絕對(duì)式系統(tǒng)·簡(jiǎn)易循環(huán)坐標(biāo),應(yīng)用控制更靈活
機(jī)械式絕對(duì)編碼器·實(shí)現(xiàn)絕對(duì)坐標(biāo)位置管理
絕對(duì)式系統(tǒng)位置管理,支持重新上電后的絕對(duì)坐標(biāo)記憶,無(wú)需電池、傳感器等配件,支持軟極限設(shè)置、內(nèi)藏定位程序運(yùn)行等。


循環(huán)功能·旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)單圈循環(huán)坐標(biāo)達(dá)成
循環(huán)功能是在電動(dòng)機(jī)輸出軸的轉(zhuǎn)數(shù)超出設(shè)定的范圍時(shí),自動(dòng)預(yù)置當(dāng)前位置的位置信息的功能。
例:電動(dòng)機(jī)向同一方向每旋轉(zhuǎn)
1rev,循環(huán)功能有效時(shí)。

應(yīng)用例:
多圈旋轉(zhuǎn)時(shí)的晶圓旋轉(zhuǎn)工位,電動(dòng)機(jī)輸出軸每旋轉(zhuǎn)1rev,循環(huán)坐標(biāo)時(shí),坐標(biāo)將自動(dòng)清零。

有助于:
①簡(jiǎn)易、準(zhǔn)確的確認(rèn)晶圓當(dāng)前位置信息;
②避免坐標(biāo)溢出時(shí)的坐標(biāo)數(shù)據(jù)處理難題;
③高效的高速原點(diǎn)返回。



結(jié)構(gòu)·電控強(qiáng)大陣容,設(shè)備更小型·簡(jiǎn)潔緊湊
高剛性XY軸移栽對(duì)位·電動(dòng)滑臺(tái)EZS系列
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?點(diǎn)此查看詳細(xì)介紹

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注意:DGⅡ系列 電動(dòng)機(jī)水平方向(薄型)產(chǎn)品詳情請(qǐng)洽詢客戶咨詢中心,

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