半導體制程相關設備
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活用循環(huán)功能，坐標管理&定位十分輕松 |
提高效率、簡易控制
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晶圓旋轉主軸工位：連續(xù)單方向、固定位置的晶圓旋轉
設備：半導體制程相關設備工位：晶圓旋轉主軸工位 解決方案：步進伺服混合控制系統(tǒng)αSTEPAZ系列 ●絕對式系統(tǒng) ●簡易循環(huán)功能 痛點：①晶圓載具連續(xù)旋轉，絕對坐標不斷累積， 最終導致坐標溢出，控制中斷，維護麻煩。 ②原點返回控制繁難，十分耗時。 |
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步進伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列 |
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循環(huán)坐標功能設定，坐標管理更簡易
■機械式絕對編碼器·實現(xiàn)絕對坐標位置管理絕對式系統(tǒng)位置管理，無需電池、傳感器等配件。支持高速原點返回、重新上電后的絕對坐標記憶、軟極限設置、內(nèi)藏定位程序運行等。 有助于提升生產(chǎn)效率、節(jié)省安裝空間、降低成本。
循環(huán)功能是在電動機輸出軸的轉數(shù)超出設定的范圍時，自動預置當前位置的位置信息的功能。
應用例：
連續(xù)旋轉的鍍膜旋轉盤工位，電動機輸出軸每旋轉1rev，循環(huán)坐標時，坐標將自動清零。
連續(xù)旋轉的鍍膜旋轉盤工位，電動機輸出軸每旋轉1rev，循環(huán)坐標時，坐標將自動清零。
有助于：
①便捷的確認機構/晶圓當前位置狀態(tài)； ②避免坐標溢出時的坐標數(shù)據(jù)處理難題； ③高效的高速原點返回。 |
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動作程序設定于驅(qū)動器中，大大減輕上位負擔
■內(nèi)藏定位功能，輕松完成固定位置的定位控制運行數(shù)據(jù)
設定存儲數(shù)據(jù)運行所需的運行方式、目標位置、運行速度、加減速斜率、運行電流等。  |
自動順序連接
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干貨：
①自動順序連接----上位僅需1個start輸入信號，實現(xiàn)簡單設定&控制
②Round循環(huán)功能----360°坐標循環(huán)不溢出，支持單圈高速回原點
①自動順序連接----上位僅需1個start輸入信號，實現(xiàn)簡單設定&控制
②Round循環(huán)功能----360°坐標循環(huán)不溢出，支持單圈高速回原點
固定動作定位的方式，哪種控制更簡便？
| 脈沖 | I/O、現(xiàn)場網(wǎng)絡 | 運動網(wǎng)絡 | |
| 控制類型 | Modbus、EtherNet/IP、PROFINET | EtherCAT、SSCNETⅢ/H、 MECHATROLINK-Ⅲ |
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| 優(yōu)點 | ●控制熟練 ●響應速度快 |
●控制簡單（I/O的控制方式） ●對上位控制要求低 ●部分上位自帶現(xiàn)場網(wǎng)絡控制協(xié)議 ●上位+驅(qū)動器方案成本性價比高 |
●接線簡單 ●響應速度快 ●適合動作要求高的設備 |
| 不足 | ●接線復雜 ●容易干擾 ●排故麻煩 |
●通訊速度相對慢 ●不支持快速響應動作 ●插補效果不佳 |
●專用通訊模塊 ●系統(tǒng)成本高 ●需具備一定的編程設定能力 |
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