半導(dǎo)體濕制程相關(guān)設(shè)備
|
活用形狀連接，擺臂動(dòng)作可以很順滑 |
簡(jiǎn)易控制、提高效率 *圖片僅供示意
|
擺臂工位：如何讓多段定位的控制更加平穩(wěn)？
設(shè)備：半導(dǎo)體濕制程相關(guān)設(shè)備工位：擺臂工位 解決方案：步進(jìn)伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列 ●形狀連接功能 痛點(diǎn)：在對(duì)晶圓等進(jìn)行涂膠、顯影等作業(yè)時(shí)，常會(huì)遇到運(yùn)行不夠平穩(wěn)。 而運(yùn)動(dòng)過程中，通過實(shí)時(shí)監(jiān)控并重新修改數(shù)據(jù)的控制難題難以克服， 進(jìn)而導(dǎo)致如涂膠等作業(yè)不勻，加劇了廢品率。 |
|
步進(jìn)伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列 |
|
AZ系列形狀連接功能，讓運(yùn)動(dòng)控制更絲滑
■形狀連接運(yùn)行
不停止電動(dòng)機(jī)運(yùn)行，繼續(xù)執(zhí)行“結(jié)合數(shù)據(jù)”中設(shè)定的運(yùn)行數(shù)據(jù)。過程中如有設(shè)定為“無結(jié)合”的運(yùn)行數(shù)據(jù)，則會(huì)執(zhí)行存儲(chǔ)數(shù)據(jù)運(yùn)行至該運(yùn)行數(shù)據(jù)，使電動(dòng)機(jī)停止。
● 使用示例
在確定的位置改變速度時(shí)，運(yùn)行數(shù)據(jù)的設(shè)定
查看設(shè)定演示視頻：
 |
|
僅需一個(gè)IO，上位控制更輕松
■降低控制難度，提升效率使用αSTEP AZ系列步進(jìn)電動(dòng)機(jī)的內(nèi)藏定位功能，使用“形狀連接”只需發(fā)送一個(gè)I/O信號(hào)即可實(shí)現(xiàn)復(fù)雜動(dòng)作。
無需頻繁讀取和寫入，節(jié)省大量的程序控制量，減輕上位程序負(fù)擔(dān)。
 |
|
|
|
|
|
多樣化的監(jiān)控可視化功能，調(diào)試·使用·維護(hù)更安心
■波形監(jiān)視
直觀對(duì)比規(guī)劃軌跡與電動(dòng)機(jī)實(shí)際動(dòng)作，針對(duì)性的快速調(diào)試。
?點(diǎn)此查看詳細(xì)介紹
直觀對(duì)比規(guī)劃軌跡與電動(dòng)機(jī)實(shí)際動(dòng)作，針對(duì)性的快速調(diào)試。
?點(diǎn)此查看詳細(xì)介紹
■預(yù)知保全·IoT
AZ系列不僅能監(jiān)控位置、速度，還能監(jiān)控溫度、負(fù)載、運(yùn)行距離、電源的狀態(tài)等狀態(tài)信息，實(shí)現(xiàn)“預(yù)知保全”。
?點(diǎn)此查看詳細(xì)介紹
AZ系列不僅能監(jiān)控位置、速度，還能監(jiān)控溫度、負(fù)載、運(yùn)行距離、電源的狀態(tài)等狀態(tài)信息，實(shí)現(xiàn)“預(yù)知保全”。
?點(diǎn)此查看詳細(xì)介紹
相關(guān)產(chǎn)品
|
?步進(jìn)伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列 |
注意：
本資料僅供參考。選購(gòu)前請(qǐng)仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請(qǐng)洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
本資料僅供參考。選購(gòu)前請(qǐng)仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請(qǐng)洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
